用語 露光装置とは
露光装置とは、半導体や液晶ディスプレイなどの製造工程で用いられる精密な装置であり、主に回路パターンをシリコンウェハやガラス基板に焼き付けるために使われます。具体的な用途と仕組みは以下の通りです。用途:半導体製造:集積回路(IC)の微細な回路...
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